Cтруктурные дефекты
твердых тел. Реальные кристаллы
всегда содержат некоторое число дефектов кристаллической структуры. Появление
дефектов в кристаллах неизбежно, поскольку они образуются уже в процессе
выращивания монокристалла вещества. Их концентрация быстро возрастает с
температурой, а также при деформировании кристалла. Различают два основных
вида дефектов кристаллической решетки
(рис. 1.10).
Точечные дефекты создаются
при внедрении в узлы и междоузлия идеальной кристаллической структуры
"чужеродных" атомов, например, при приготовлении сплава
(рис. 1.10, а и б). Кроме того, к точечным дефектам относятся вакансии, то
есть, не заполненные атомами основного материала узлы кристаллической решетки. При этом атом основного
материала может находиться рядом, в
междоузлии кристаллической решетки (дефекты по Френкелю, рис. 1.10, в). Возможен случай, когда атом
вообще может испариться из объема материала и вакансия является одиночной
(дефекты по Шоттки,
рис. 1.10, г).
Точечные дефекты кристаллической
решетки могут образовываться при бомбардировке поверхности кристалла
ускоренными заряженными ионами различных веществ. Дефекты такого происхождения
называют радиационными дефектами.
Другим видом дефектов
кристаллической структуры являются дислокации. Дислокация - это линейный
дефект, заключающийся в смещении плоскостей кристаллической решетки относительно
друг друга. Различают два основных типа дислокаций:
линейная (краевая)
дислокация представляет результат неполного сдвига кристаллической
решетки. В итоге появляется незаконченная полуплоскость атомов (рис. 1.11, а);
винтовая дислокация
возникает вследствие полного сдвига некоторого участка решетки (рис.
1.11, б).
Дислокации возникают как в
процессе выращивания монокристаллов, так и в результате их механической и
термической обработки. Границы кристаллитов в поликристаллических телах также
имеют дислокационную природу.
Выходы дислокаций на поверхность
кристалла можно обнаружить по результатам травления кристалла в специальном
травителе. В результате травления на поверхности
кристалла появляются ямки травления, хорошо видимые под микроскопом.
Плотность дислокаций оценивают визуально, подсчитывая под микроскопом
число ямок травления на единице площади поверхности кристалла. Например,
кристалл полупроводникового материала пригоден к дальнейшему использованию,
если плотность дислокаций в нем не превышает 106¼107 м-2.