МДП-транзистор с
изолированным затвором. В качестве примера практического использования эффекта поля
рассмотрим применение МДП (МОП)-структур для
создания транзисторов и управляемых интегральных резисторов. Напомним, что
МДП-структурой называется трехслойная (металл-диэлектрик-полупроводник)
структура, в которой достигается управление поверхностной проводимостью
полупроводника за счет энергии поперечного внешнего электрического
поля. Таким образом, МДП-транзистор -
это полупроводниковый прибор с управляемой внешним напряжением поверхностной
проводимостью. Физическая структура МДП-транзистора с
изолированным затвором и его условное графическое изображение на
электрических схемах изображены на рис. 4.19, а и
б, соответственно.
Транзистор представляет собой кристалл кремния (например, p-типа), у поверхности которого
методами диффузии или ионной имплантации с применением фотолитографии
формируются две области n-типа проводимости. Одна из этих областей
называется истоком, другая - стоком, как показано на рис. 4.19, а. Сверху области истока и стока
металлизируются (обычно алюминием). На границе между n- и p-областями
возникают два p-n перехода - истоковый
и стоковый. Область кристалла между истоковым и стоковым p-n переходами называется каналом. Поверхность кристалла в промежутке
между стоком и истоком защищается слоем окисла SiO2 и также покрывается
пленкой металла. Этот электрод транзистора называют затвором. Обратная сторона кристалла металлизируется и электрически
соединяется с электродом истока.
На рис. 4.19, а приведена
схема включения МДП-транзистора в электрическую цепь. К затвору (з)
подается плюс источника напряжения Uзи, к стоку (с)- плюс
источника напряжения Uси.
Все напряжения подаются относительно истока, соединенного с обратной
стороной кристалла.
Рассмотрим работу этого прибора. Если Uзи=0, то сопротивление
канала между стоком и истоком очень велико, так как стоковый p-n переход оказывается под обратным
смещением.
Для того, чтобы канал (промежуток сток-исток)
стал проводящим, на электрод затвора подается положительное напряжение Uзи>0. В результате под
затвором сначала образуется обедненная область, а при величине UзиUо=2jsm под затвором образуется инверсионная
область, которая соединяет n-области
истока и стока проводящим каналом. Такой проводящий канал называется индуцированным каналом. В
некоторых типах МДП-транзисторов применяется встроенный канал, который возникает,
когда концентрация электронов, поступивших из диэлектрика, достаточна для
образования инверсионного слоя, существующего даже при нулевом напряжении
на затворе. Напряжение Uо называется пороговым напряжением и в зависимости от вида применяемого
диэлектрика для различных типов МДП-транзисторов на основе кремния
достигает величины 0,4...3,5 В.
Зависимость тока стока Iс
в зависимости от напряжения на стоке Iс=f(Uси) при различных напряжениях
на затворе Uзи приведена
на рис. 4.19, в.
При небольших напряжениях Uси на электроде стока эта зависимость,
называемая выходной характеристикой,
является практически линейной. Однако при значительном увеличении положительного
напряжения Uси
сужается проводящий канал у стокового p-n перехода. Сопротивление канала возрастает, а зависимость
Ic= f(Uси)
становится нелинейной - наблюдается эффект
насыщения тока стока. Величина тока насыщения Iсн зависит от напряжения на затворе: чем выше
Uзи, тем шире канал и
тем больше ток насыщения.
Семейство графиков зависимости Ic=f(Uзи), называемой передаточной характеристикой, при различных напряжениях насыщения
стока Uсн приведено на
рис. 4.19, г. Видно, что при напряжениях
на затворе Uзи>Uo величина тока стока практически
линейно возрастает в некотором диапазоне значений напряжения Uзи, причем тем быстрее,
чем больше напряжение Uсн.
Следовательно, подобную структуру можно использовать для усиления
сигналов, то есть напряжением на затворе (во входной цепи)
можно управлять током стока, являющимся током, протекающим в
выходной цепи.
Применение МДП-транзистора в качестве управляемого интегрального резистора обусловлено зависимостью
сопротивления канала от напряжения на затворе Uзи.